IMEC将光刻手艺应用于OLED产品的制造，，，，，，，或将作废细腻金属研磨（FMM）的使用

宣布时间：2021-01-01 |阅读次数：3434

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CINNO Research工业资讯，，，，，，，在2020年国际显示钻研会上，，，，，，，IMEC展示了一种使用光刻手艺制作OLED显示层中有机半导体和阴极图案的手艺。。。。。这种计划制作出的产品具有突破性的可靠性。。。。。显然，，，，，，，这种计划有时机作废细腻金属掩模板（FMM）的使用。。。。。

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该样品的展示对显示器制造商很有吸引力，，，，，，，事实光刻手艺可以实现更高的区分率，，，，，，，另外还能够增添阴极的透明度，，，，，，，这些都有助于在显示器内集成其他传感器。。。。。IMEC很是愿意就此主题与行业相助同伴举行相助，，，，，，，另外还可以提供与此相关的定制设计效劳。。。。。

在移动显示器领域，，，，，，，消耗者对提高屏占比的需求一直在促使制造商设计新的形状尺寸，，，，，，，并在屏幕内部隐藏越来越多的功效（例如前置摄像头、指纹传感器等）。。。。。虽然无论是消耗者照旧面板制造商都不希望在添加这些功效的同时牺牲图像显示质量。。。。。

同样，，，，，，，在高端智能手机，，，，，，，电视和小我私家盘算机/条记本电脑等应用中，，，，，，，制造商也非�？？？？？？Ｅ卧赣呕踔猎鎏碛性淳卣驩LED（AMOLED）屏幕的特征，，，，，，，例如更富厚的色彩、更为超薄甚至可以折叠的形状，，，，，，，这些都是他们关于未来产品设计的期望。。。。。

反观现实，，，，，，，现在的AMOLED产品（特殊是小尺寸产品）制作普遍使用细腻金属掩模板（FMM）手艺来沉积红色，，，，，，，绿色和蓝色发光层（EML）图案。。。。。另外，，，，，，，市场上也有多家公司已经证实，，，，，，，通过印刷解决计划（例如喷墨印刷（IJP））制作出的AMOLED显示器，，，，，，，其区分率也仅凌驾150ppi。。。。。

现实上，，，，，，，FMM的使用不适用于大面积玻璃基板。。。。。另一方面，，，，，，，与蒸发工艺制作的OLED面板相比，，，，，，，IJP工艺制作出的产品更是会降低产品的可靠性。。。。。

在此配景下，，，，，，，通过光刻工艺的使用，，，，，，，IMEC现在提供了另一种制造蹊径，，，，，，，该蹊径可带来更高的设计自由度，，，，，，，另外，，，，，，，它在产品可靠性方面也展示出令人鼓舞的效果。。。。。

例如，，，，，，，IMEC能够在有机半导体的顶部以1μm的间距（线宽和间距）举行像素的图案化，，，，，，，这一参数制作出的产品理论上可以抵达约莫12000ppi的区分率。。。。。另外，，，，，，，在使用这种手艺对OLED的阴极举行图案化之后，，，，，，，OLED前面板在较长波长下的透过率从20％增添到70％。。。。。更为主要的是，，，，，，，可靠性测试的效果批注，，，，，，，与通俗未使用该手艺举行图案化的OLED相比，，，，，，，这种使用新计划对阴极举行图案化的OLED，，，，，，，其T95寿命凌驾200小时，，，，，，，并且在1000尼特时，，，，，，，OLED寿命没有可丈量的差别。。。。。

“由于光刻手艺与OLED质料之间在化学层面上的不相容性，，，，，，，古板意义上使用光刻工艺制作OLED器件很是具有挑战性，，，，，，，”传感器手艺研发项目认真人Tung Huei Ke说，，，，，，，“别的，，，，，，，在古板的光刻情形中，，，，，，，OLED质料对水和氧气的敏感性也是一个很大的问题。。。。。”

“首先，，，，，，，OLED的子像素需要举行至少3次光刻才华实现全色AMOLED阵列的制作，，，，，，，以是各人都以为在多次光刻工艺之后，，，，，，，上述配景下的问题会一直累积，，，，，，，”Ke增补说，，，，，，，“我们早先的实验也证实了这一假设，，，，，，，这一效果让我们想放弃选择这条蹊径。。。。。不过，，，，，，，在使用光刻工艺举行多次图案化办法后，，，，，，，IMEC现在能够制作出具有精彩可靠性的OLED产品。。。。。这是将光刻工艺用于OLED图案化历程的主要里程碑。。。。。”

泉源： CINNO Research

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